滲碳淬火精密齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度。
滲碳淬火精密齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58~62HRC的范圍內。若低于57HRC時，齒面強度顯著下降，高于62HRC時則脆性增加。齒輪心部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火齒輪的硬度，有效滲碳深度規定為表面至深層應逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至硬度52.5HRC處的深度。
滲碳淬火對齒輪彎曲疲勞強度的影響不僅提高了芯的硬度，而且還在于表面殘余壓應力，這可以降低齒輪最大拉應力區的應力。因此磨齒時不能磨齒根部分，滾齒時要用留磨量滾刀。
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